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   滑閥式真空泵（簡稱滑閥泵）工作原理是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積。與旋片泵一樣，是一種變容式氣體傳輸泵，其使用范圍和運行條件也與旋片泵基本相同。

    滑閥泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上�；�閥泵有單級和雙級兩種型式，抽速大于等于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。

    本泵具有抽氣速率穩(wěn)定、工作壓力范圍寬的優(yōu)點，其幾何抽氣速率為152L/s，極限分壓力低于1Pa，極限全壓力小于6.5Pa，*大工作壓力為大氣壓（直排大氣）。本泵可單獨使用，亦可與更高真空泵組成機組配合使用，廣泛應用于真空鍍膜、冶煉、干燥、浸漬、脫氣造型等真空作業(yè)場所。